什么是微机电系统？ MEMS 是 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写。它是一种与制造微型设备相关的技术，如传感器、传感器、执行器、齿轮、泵、开关等。 换句话说，MEMS 是一种微观集成设备，它是电子、电气和机械元件的组合，所有这些都使用一种称为微系统技术 (MST) 的技术共同工作以满足单一的功能要求。 MEMS技术被认为是传统集成电路（IC）制造的扩展形式。...

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