顶尖研究机构的吸引力 光刻机技术突破的关键 比利时微电子中心imec与半导体制造设备厂商ASML有着长年紧密的合作，就拿目前的EUV光刻机来说，早在卖给各大晶圆厂之前，ASML就已经和imec展开一系列的测试了。EUV光刻机刚面世之际，无论是产量和良率都无法与之前的DUV光刻机相提并论，然而在两家研究人员的推动下，imec在光掩模和光刻胶上做出了改进，使得EUV光刻机在分辨率、良率上都有了显著的提...

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