中微公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线

中微公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线

4月6日，中微公司董事长、总经理尹志尧透露，公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线。

其中，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工。

此外，公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产。

中微公司也在互动平台上证实了这一说法，称公司刻蚀设备确实进入了5纳米生产线。

公司的刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。

中微公司作为设备公司，向客户提供可加工先进器件的设备，协助、配合客户实现先进器件的开发和生产。

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