意法半导体产品：消费应用将成首要市场，亟待突破成本及封装瓶颈

意法半导体产品：消费应用将成首要市场，亟待突破成本及封装瓶颈

消费应用将成首要市场

突破成本及封装技术等瓶颈

MEMS在消费应用市场的推广中也遇到了几大问题，像成本、封装及功耗等等。

而MEMS在消费类应用中面临的另一个问题就是封装技术。清华大学微电子所蔡坚向《中国电子报》记者表示，由于本身的特殊性和复杂性，MEMS封装面临成本、尺寸及系统化的挑战。而不同的厂商正采用各种专利技术攻克难关。

Foundry大力开拓MEMS市场

随着消费电子领域需求量的迅猛增长，MEMS的制造开始了一系列转变：原来主要在5英寸和6英寸线上生产的MEMS开始转向8英寸生产线。意法半导体开始应用其8英寸制造设施，欧姆龙、飞思卡尔等企业开始购买或建立8英寸MEMS生产线。

而为了让MEMS加快设计和生产的速度，并降低产品的成本，台积电在MEMS生产方面将提供一个比较标准的平台，也就是MEMS工艺要尽量与在业界已经非常成熟的CMOS工艺相结合。中芯国际MEMS和微显示技术发展与市场部处长黄河博士向《中国电子报》记者介绍说，与传统CMOS工艺相比，深大尺度刻蚀、圆片双面光刻以及圆片键合等新型微加工技术将进入晶圆工艺过程当中。为此，中芯国际将逐步建立并提升这些MEMS关键模块工艺技术，并最大限度地发挥大规模、高品质、低成本的代工优势，成为中国大陆领先的8英寸MEMS晶圆代工制造商。

大陆需要完善制造和封装环节

MEMS市场已经越来越大，大陆MEMS在大学和科研院所的研发热度也非常高。但从总体上说，大陆这一行业仍然有点平静。青鸟元芯总经理张威表示，目前大陆做MEMS产业的人还比较少，相关的企业寥寥无几。“大陆还没有形成MEMS产业群体，这是一个很大的瓶颈。”他说，“我们常常觉得是在孤军奋战。”

苏州敏芯总经理李刚进一步介绍说，目前大陆除了在压力传感器产业化方面取得一定进展之外，并无太多的MEMS产业亮点。但他也表示，已有几家由风险投资支持的纯商业化运作的大陆MEMS公司正在积极研发，参与同国外公司的公平竞争，打破国外企业在MEMS方面的技术垄断。此类公司以其先进的技术和正规的运作，已经初步显示出其战斗力，并也取得初步的成果。

MEMS市场的飞速发展，将为产业带来巨大的机遇，只有越来越多的企业从事产业化工作，并完善MEMS产业环节，MEMS产业才能在我国大陆高速发展。

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