华卓精科获8700万的战略投资 推动光刻机国产化

华卓精科获8700万的战略投资 推动光刻机国产化

日前，集成电路装备及关键零部件企业华卓精科获得浑由浑璞投资、中国国际金融股份有限公司和红星美凯龙控股集团共计8700万的战略投资。其中，浑璞投资的投资金额为6600万元。

与此同时，华卓精科发布公告，公司收到北京市经济和信息化委员会拨付的国家科技重大专项中央财政资金合计1.39亿元。

华卓精科也是清华大学集成电路设备技术17年技术积累的产业化平台，公司挟高精尖技术向下俯冲，在激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻、平面光栅、高精密运动台、静电卡盘、隔振器等集成电路装备和关键零部件领域处于国内领先水平。

光刻机被周光召先生誉为新时代“两弹一星”般的“神器”和世界上最精密的仪器。而光刻机双工件台作为光刻机的两大核心子系统，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作状态下，使运动误差保持在2纳米之内，也就是人头发丝直径的四万分之一，可以想象为两架时速1000公里/小时的飞机在任意时刻的飞行位置偏差不超过一个微米。如此极端的性能指标，使光刻机双工件台成为当之无愧的“精密机械之王”，其制造也成为世界级难题。

华卓精科肩负双工件台国产化这一世纪挑战，承接清华大学2001年以来在“863计划”光刻机工件台方面的核心技术，已申请发明专利231项，其中已授权中国发明专利139项、授权国际发明专利23项。华卓精科于2014年联合清华大学成功推出了中国第一台满足65纳米光刻机需求的双工件台样机，现在正在向28纳米制程的浸没式光刻机双工件台这一世界级技术高地发起冲锋。

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