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刻蚀机 / LamResearch TQC高纯石英砂的杂质含量 / TQC 该地区的矿床不仅规模大,而且流体杂质少,矿石品质稳定,目前主要由两大公司负责开采,分别是TQC和Covia/矽比科。不少半导体公司也坚持使用来自斯普鲁斯派恩的石英砂,因为更少的杂质可以确保晶圆本身的纯度,从而实现理想的电导率。国内的高纯石英砂现状 我国的江苏等省份也拥有部分石英矿,然而我国的石英矿在纯度和规模上都不比美国的...

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